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2022一篇文章讓你清楚了解白光干涉儀
光譜共焦傳感器,白光干涉儀,激光位移傳感器,膜厚儀是目前3D領(lǐng)域中,精度最高的測(cè)量?jī)x器之一,前面立儀科技小編已經(jīng)為大家介紹了光譜共焦位移傳感器,激光位移傳感器,接下來(lái)本文就帶大家一起來(lái)了解了解白光干涉儀白光干涉儀工作原理:白光干涉儀是利用光學(xué)干涉原理研制開(kāi)發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測(cè)量?jī)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光,分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光,...