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2024揭秘半導(dǎo)體檢測(cè)新寵:立儀光譜共焦傳感器技術(shù)!
隨著科技的飛速發(fā)展,半導(dǎo)體工業(yè)已經(jīng)成為現(xiàn)代信息技術(shù)社會(huì)的支柱產(chǎn)業(yè)之一。在制造過(guò)程中,每一個(gè)環(huán)節(jié)都要求極高的精確度和穩(wěn)定性,這就對(duì)測(cè)量技術(shù)提出了巨大的挑戰(zhàn)。光譜共焦傳感器,作為一種新興的高精度非接觸式測(cè)量工具,正在這一領(lǐng)域中發(fā)揮越來(lái)越重要的作用。立儀科技小編在深入探討光譜共焦傳感器在半導(dǎo)體制造中的廣泛應(yīng)用及其帶來(lái)的技術(shù)革新。光譜共焦技術(shù)的基本原理通過(guò)控制器中的寬光譜光源發(fā)出的復(fù)色光,經(jīng)過(guò)照明孔、分光...