2022-04-28
光譜共焦傳感器，白光干涉儀，激光位移傳感器，膜厚儀是目前3D領(lǐng)域中，精度最高的測量儀器之一，前面立儀科技小編已經(jīng)為大家介紹了光譜共焦位移傳感器，激光位移傳感器，接下來本文就帶大家一起來了解了解白光干涉儀
白光干涉儀工作原理：
白光干涉儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。
它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細(xì)器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。
白光干涉儀的應(yīng)用領(lǐng)域：
一、超精細(xì)粗糙度測量
玻璃鏡片 0.05nm 粗糙度測量
二、臺階高度
掩模版臺階高度測量
三、形貌觀察&測量
膜形貌測量
四、不同條件下實驗形貌比對&測量
化工材料不同濃度液滴后形貌分析
聽完立儀科技小編的介紹，相信大家對白光干涉儀的原理以及應(yīng)用領(lǐng)域有了個大概的了解，立儀科技一家專業(yè)生產(chǎn)光譜共焦位移傳感器，激光位移傳感器，膜厚儀，白光干涉儀的公司，從2014年成立至今，勵志成為國產(chǎn)高精度測量的技術(shù)引領(lǐng)者。
