2022-04-22
隨著工業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)精密測(cè)量技術(shù)的要求越來越高。位移測(cè)量技術(shù)作為幾何量精密測(cè)量的基礎(chǔ)，不僅需要超高的測(cè)量精度，還需要對(duì)環(huán)境和材料有廣泛的適應(yīng)性，逐漸趨向于實(shí)時(shí)和無損檢測(cè)。與傳統(tǒng)的接觸測(cè)量方法相比，可視化光譜共焦位移傳感器具有速度快、精度高、適應(yīng)性強(qiáng)等明顯優(yōu)勢(shì)。
光譜共焦位移傳感器常用于測(cè)透明物體的厚度，如測(cè)薄膜、玻璃、透明膠、透明液體。且可測(cè)多層厚度用于表面粗糙度分析、表面輪廓分析、劃痕測(cè)量、孔內(nèi)徑測(cè)量應(yīng)用非常廣泛，且精度高，不受表面材料的影響。今天我們一起來看看光譜共焦位移傳感器的工作部分有哪些?
1.粗糙度測(cè)量：
可測(cè)量小幾個(gè)納米的粗糙度。獲取粗糙度文件速度比普通的探針式快很多，而且不會(huì)對(duì)表面造成劃痕的風(fēng)險(xiǎn)。
2.輪廓&微觀形貌：
傳感器的3D掃描的接口，能夠滿足所有復(fù)雜對(duì)象的2D和3D測(cè)量。精度可達(dá)亞微米級(jí)。
3.厚度測(cè)量：
非常先進(jìn)的光譜共焦成像原理，通過使用一個(gè)單一的傳感器就能測(cè)量透明材料的厚度，而且具有極高的精度?？梢詮臉悠返囊幻嬷苯訙y(cè)量。
4.水平面控制：
由于其非接觸技術(shù)，我們的傳感器可以檢測(cè)和測(cè)量液體的水平面。
5.振動(dòng)：
由于非常高的測(cè)量頻率和納米分辨率，我么的傳感器能夠測(cè)量振動(dòng)對(duì)象。他們的非接觸式設(shè)計(jì)避免了在測(cè)試時(shí)的干擾，并能測(cè)量和分析難以訪問的區(qū)域。
6.生產(chǎn)線檢測(cè)：
光學(xué)傳感器能夠用應(yīng)用于生產(chǎn)線系統(tǒng)控制，是由于其非常高的測(cè)量速率和先進(jìn)的接口與制造能力。
隨著光譜共焦傳感技術(shù)的發(fā)展，必將在微電子、線寬測(cè)量、納米測(cè)試、超精密幾何量計(jì)量測(cè)試等等領(lǐng)域得到更多的應(yīng)用。
