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2023光譜共焦位移傳感器在半導(dǎo)體領(lǐng)域的測(cè)量
光譜共焦位移傳感器是一種最近流行新型的光學(xué)傳感器,其基本原理是一束白光 經(jīng)過(guò)一個(gè)小孔,經(jīng)過(guò)鏡頭將不同的波長(zhǎng)聚焦到光軸上,色散地形成一條彩虹狀分布帶,照射到樣品上,部分反射光反射回去。照射在光軸與物體表面交點(diǎn)的光經(jīng)過(guò)分光部件,通過(guò)小孔照射到光譜分析儀。根據(jù)波長(zhǎng)計(jì)算就可以獲得鏡頭到被測(cè)物距離。在半導(dǎo)體領(lǐng)域,光譜共焦位移傳感器具有廣泛的應(yīng)用前景,具體如下:一、半導(dǎo)體制造過(guò)程中的質(zhì)量檢測(cè) 在半導(dǎo)體制造過(guò)...