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2023光譜共焦位移傳感器相比激光位移傳感器有哪些優(yōu)點(diǎn)
光譜共焦位移傳感器作為最近幾年特別流行的高精度傳感器,相對(duì)于激光位移傳感器光譜共焦的優(yōu)點(diǎn)更多,下面立儀科技小編就為大家簡(jiǎn)單的介紹一下, 首先是更小的測(cè)量盲區(qū),同軸測(cè)量配置避免了激光三角測(cè)量傳感器的角度限制,減少了測(cè)量盲區(qū),適用于復(fù)雜精細(xì)結(jié)構(gòu)(如深溝結(jié)構(gòu)等)的測(cè)量。更高精度的尺寸和位移再現(xiàn)性?! ∑浯问歉哽`敏度光學(xué)非接觸測(cè)量光譜共焦位移傳感器開發(fā)的物鏡可實(shí)現(xiàn)小至10微米的成像光斑,同時(shí)提高了測(cè)量...