2023-08-30
光譜共焦位移傳感器是一種最近流行新型的光學傳感器，其基本原理是一束白光 經過一個小孔，經過鏡頭將不同的波長聚焦到光軸上，色散地形成一條彩虹狀分布帶，照射到樣品上，部分反射光反射回去。照射在光軸與物體表面交點的光經過分光部件，通過小孔照射到光譜分析儀。根據(jù)波長計算就可以獲得鏡頭到被測物距離。在半導體領域，光譜共焦位移傳感器具有廣泛的應用前景，具體如下：
一、半導體制造過程中的質量檢測
在半導體制造過程中，需要對各個工序中的產品進行質量檢測，以確保產品符合要求。在這個過程中，光譜共焦位移傳感器可以用于測量半導體表面的微小變形，如膜層的表面平整度、表面形貌等，從而判斷產品的質量是否合格。
二、半導體設備的振動監(jiān)測
半導體設備在運行時會產生震動，這些震動會對設備的性能和壽命產生影響。因此，需要對半導體設備的震動進行監(jiān)測。在這個過程中，光譜共焦位移傳感器可以用于測量設備的振動情況，從而為設備的維護和保養(yǎng)提供參考依據(jù)。
總之，光譜共焦位移傳感器在半導體領域具有廣泛的應用前景，可以為半導體制造保駕護航。深圳立儀科技有限公司自2014年成立之初，數(shù)十年磨一劍研發(fā)出具有自主知識產權的光譜共焦位移傳感器，并在國外傳感器的原有基礎上進行大幅度改進。其產品廣泛用于半導體領域測量，幫助無數(shù)客戶減少成本，提高產品質量。
