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2019-12-28

立儀光譜共焦位移傳感器選型技巧

選型步驟:先確定量程,如果是光滑表面確定一個最大可能傾角,確定樣品到鏡頭的工作距離,選擇合適的尺寸和光斑大小。


要求測鏡面曲度大:優(yōu)先考慮大角度的鏡頭。


粗糙表面:角度大、光斑小的在粗糙表面跳動小。


要求速度快:通常同等其它參數(shù)下,光斑大的光強高速度快,用大直徑光纖的速度快。


要求橫向分辨率高:測量微觀形貌、微小縫隙溝槽、粗糙度、尋邊的應(yīng)用,光斑小橫向分辨率高,角度大的光斑小。


不透明材料厚度測量:使用兩個鏡頭對射。


透明材料的厚度測量:平整度高、透明度高、精度要求低的可以使用單鏡頭測厚,要求高的使用雙邊測厚。


大段差:使用大量程鏡頭。


精密:量程越小的傳感器精度越高。


輪廓測量:使用精密運動裝置搭載傳感器鏡頭掃描測量。


內(nèi)孔側(cè)壁測量:使用轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)工件。


多通道并列:使用小直徑鏡頭能多排幾個鏡頭。


多點測量:使用多通道控制器,一拖多比較經(jīng)濟。


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