2022-07-04
目前3D領域中，白光干涉儀是精度最高的測量儀器之一，白光干涉儀是利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精細表面輪廓測量儀器。照明光束經半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。
它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
除了測量精度優(yōu)勢外，白光干涉測量系統(tǒng)還擁有非接觸式無損測量，10mm超高Z向量程，單次4mm大視野FOV掃描范圍，支持拼接大范圍掃描等領先功能。白光干涉測量系統(tǒng)可以對納米級加工表面完成如表面粗糙度、臺階高度、平面度、翹曲度、曲率半徑和瑕疵缺陷的分析。
1.表面粗糙度
表面粗糙度是衡量表面質量的關鍵指標之一，通常包含Sa/Sv/Sp/Sz/Sq等參數(shù)。鏡面磨削工藝可將樣品表面的粗糙度加工至Sa10納米。
2.表面形貌與臺階高度
高精度的表面形貌數(shù)據不僅可以用于觀察樣品的表面特性，分析截面和臺階高度，還可支持微觀力學行為的分析。
3.平面度
平面度是評估樣品表面與理想平面差距的重要參數(shù)之一，通常包含F(xiàn)LTt，F(xiàn)LTp,FLTv和FLTq。
4.翹曲度
翹曲度反應樣品表面的回彈特性，該參數(shù)與平面度的概念非常類似，但在計算方法上略有不同。翹曲度的計算通常以樣品中心區(qū)域高度為基準，分別對樣品邊緣平均分布的4個，或者6個，或者9個區(qū)域進行采樣，得到的最大高度差即為翹曲度數(shù)值。
5.曲率半徑
曲率半徑是光學透鏡設計與制造的一個重要參數(shù)，使用白光干涉測量系統(tǒng)可以得到透鏡的表面形貌，并可計算出曲率半徑。
6.表面缺陷
2D方法很難識別一些高精度表面的缺陷，此時可考慮3D形貌的方式采集并識別缺陷。由于白光干涉儀測量系統(tǒng)在Z方向有0.1nm的分辨率，因此任何細小的缺陷都可以形成3D圖像。
