2022-05-19
白光干涉儀，光譜共焦位移傳感器，線激光位移傳感器，膜厚儀都是高精度檢測儀器，本篇立儀科技小編就帶領大家一起來了解了解白光干涉儀原理及其應用：
原理：
光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。白光干涉三維形貌儀是利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。
應用：
白光干涉儀是用來測量三維微觀形貌的。白光干涉儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、國防軍工、科研院所等領域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISOIASMEEUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。
立儀科技一家專門生產(chǎn)光譜共焦位移傳感器，白光干涉儀，膜厚儀，線激光位移傳感器的公司，自從2014年成立，一直專注高精度測量。
