2021-11-03
光譜共焦位移傳感器用于測量透明材料平行平板厚度的可行性，對其產(chǎn)生的誤差進行了詳細的分析，并給出了相應(yīng)的補償方法。
目前，非接觸式的精密測量位移裝置有共焦位移傳感器，激光三角反射式位移傳感器、電容式傳感器、電感式傳感器等。它們具有適應(yīng)性強、速度快、精度高等特點，適用于檢測各種回轉(zhuǎn)體、箱體零件的尺寸和形位誤差。并且可以與快速反饋跟蹤系統(tǒng)配合使用，能夠準確快速地測出表面的形狀與輪廓。它們克服了接觸式檢測的諸多缺點，既提高了檢測速度，又保護了被測工件表面免受劃傷及防止傳感器變形。
光譜共焦傳感器是采用復(fù)色光為光源的傳感器，其測量精度能夠達到微米量級，可用于對漫反射或鏡反射被測物體的測量。此外，光譜共焦位移傳感器還可以對透明物體進行單向厚度測量，光源和接收光鏡為同軸結(jié)構(gòu)，有效地避免了光路遮擋，并使傳感器適于測量直徑4.5mm以上的孔及凹槽的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
但是，光譜共焦位移傳感器在測量透明物體的位移時，由于被測物體的上、下兩個表面都會反射，而傳感器接收到的位移信號是通過其上表面計算出來的，從而會引起一定的誤差。本文基于測量平行平板的位移，對其進行了誤差分析。
正是基于這種獨特的原理，使得光譜共焦位移傳感器在位移測量上擁有高精度，不論是單層透明物體還是多層透明物體，除了能夠測量該物體位移，還可以測量其厚度。如薄玻璃片，平行平板等。平行平板的前后表面都會反射特定波長的光，在單色儀上獲得的是出現(xiàn)兩個峰值的光譜曲線，通過這兩個峰值可以推算出玻璃的厚度。
光譜共焦位移傳感器的誤差分析
光譜共焦位移傳感器可以精確測量物體的位移，但在測量透明物體的厚度時，由于透明材料的折射率不同將產(chǎn)生不同的誤差。其誤差分析如下：
白光入射到一個折射率為n、厚度為D1的平面平行板。光線需要滿足如下條件：如果沒有平面平行板，則該光線會與光軸交于點A0，如果有平面平行板，光線會與光軸交于A1點。波長為λ1、λ2的單色光通過一定的的入射角入射到平行平板。
在進行平行平板位移測量時，其初始位置為平行平板的上表面，此時傳感器接收到的為波長為λ1、λ2的單色光信號，移動后平行平板到達距其下表面D2的位置時，傳感器接收到的是仍包含λ2的信號。
由于材料的折射率以及色散系數(shù)均已經(jīng)求出，就可以計算出該光譜共焦傳感器的測量誤差。其誤差范圍大約在0.005mm左右。
光譜共焦位移傳感器具有很多方面的應(yīng)用，尤其測量透明物體的厚面方面有獨特的優(yōu)勢，而且可以通過補償?shù)姆椒▽崿F(xiàn)較高的分辨率。
