產(chǎn)品描述
該產(chǎn)品由膜厚儀主機(jī)、上位機(jī) PC 軟件、光纖組成。用一束準(zhǔn)單色平行光照射多層薄膜， 光波會(huì)在第 1 到 n 層之間來回多次折射、反射進(jìn)而形成多個(gè)相干光束。這些相干光束進(jìn)行相 干疊加后，攜帶多層薄膜的相干信號(hào)并沿原路返回。不同波長(zhǎng)的準(zhǔn)單色光照射薄膜后，攜帶 的干涉信號(hào)不一樣。如果用一束含有多種波長(zhǎng)的準(zhǔn)單色光照射薄膜后，提取各個(gè)波段的干涉 信號(hào)，通過 OCD 自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的算法進(jìn)行反演計(jì)算，便可獲得每一層薄膜材料的光學(xué)參數(shù) （厚度、折射率、消光系數(shù)）。
該產(chǎn)品可以升級(jí)為真空鍍膜在線沉積的薄膜監(jiān)控。在多層薄膜制備過程中，用上述方法 進(jìn)行實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)，便可以獲得從薄膜開始生長(zhǎng)到 1 層，再生長(zhǎng)到 n 層的過程中所有的光學(xué) 大數(shù)據(jù)。在過程中進(jìn)行計(jì)算分析進(jìn)而輸出各層薄膜的停鍍點(diǎn)。同時(shí)保留生產(chǎn)過程中的大數(shù)據(jù)， 進(jìn)行更好的品質(zhì)把控，提升產(chǎn)品可追溯性。
