2021-12-02
隨著工業(yè)快速的發(fā)展，對(duì)精密測(cè)量技術(shù)的要求越來(lái)越高，位移測(cè)量技術(shù)作為幾何量精密測(cè)量的基礎(chǔ)，不僅需要超高測(cè)量精度，而且需要對(duì)環(huán)境和材料的廣泛適應(yīng)性，并且逐步趨于實(shí)時(shí)、無(wú)損檢測(cè)。與傳統(tǒng)接觸式測(cè)量方法相比，光譜共焦位移傳感器具有高速度，高精度，高適應(yīng)性等明顯優(yōu)勢(shì)。
1、粗糙度測(cè)量
得益于納米級(jí)精度及超好的角度特性，本同軸共焦位移傳感器契合ISO25178，可用于對(duì)表面粗糙度進(jìn)行高精度測(cè)量。相對(duì)于傳統(tǒng)的接觸式粗糙度儀，同軸共焦位移計(jì)以更高的速度采集粗糙度輪廓，并且對(duì)產(chǎn)品表面無(wú)任何損傷。
2、輪廓和3D形貌測(cè)量
集成于3D掃描系統(tǒng)上，本同軸共焦位移傳感器可以提供針對(duì)負(fù)載表面形貌的2D和3D測(cè)量數(shù)據(jù)。
3、透明體厚度測(cè)量
創(chuàng)新的同軸共焦原理使本傳感器可以直接透過(guò)透明件工件的前后表面測(cè)量厚度，整個(gè)過(guò)程僅需要使用一個(gè)傳感器從工件的一個(gè)側(cè)面測(cè)量。相對(duì)于三角反射原理的激光位移傳感器，本儀器因采用同軸光，從而可以更有效地測(cè)量弧工件的厚度。
4、液位控制
優(yōu)異的非接觸式同軸測(cè)量，我們傳感器可以檢測(cè)和測(cè)量液體的水平高度。
5、在線檢測(cè)
高采樣頻率，小尺寸體積和卡放的數(shù)據(jù)接口，使本儀器非常容易集成至在線生產(chǎn)和檢測(cè)設(shè)備中，實(shí)現(xiàn)線上檢測(cè)。
6、震動(dòng)測(cè)量
由于采用超高的采樣頻率和超高精度,同軸傳感器可以對(duì)震動(dòng)物件進(jìn)行測(cè)量,傳感器采用的非接觸設(shè)計(jì)，避免測(cè)量過(guò)程中對(duì)震動(dòng)物件造成干擾，同時(shí)可以對(duì)復(fù)雜區(qū)域進(jìn)行詳細(xì)的測(cè)量和分析。
隨著光譜共焦位移傳感器技術(shù)的發(fā)展，必將在微電子、線寬測(cè)量、納米測(cè)試、超精密幾何量計(jì)量測(cè)試等領(lǐng)域得到更多的應(yīng)用。
