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2022光譜共焦技術(shù)在精密幾何量計量測試中的應用
如今，光譜共焦測量技術(shù)由于其具有測量精度高、測量速度快、可以實現(xiàn)非接觸測量的獨特優(yōu)勢而被廣泛應用于工業(yè)級測量。光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎上發(fā)展而來，其無需軸向掃描,直接由波長對應軸向距離信息，從而大幅提高測量速度。而基于光譜共焦技術(shù)的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度、非接觸式的新型傳感器目前精度上可達nm量級。共焦測量術(shù)由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實時性高、對被測表面狀...
